摘要:薄膜型熱電極作為薄膜熱電偶結構的核心部位,其尺寸設計對熱電偶功能及性能的實(shí)現起著(zhù)重要作用。文章研究了熱電偶電極薄膜的尺寸效應,建立了薄膜熱電偶熱電及熱傳導機理數學(xué)模型,分析了熱電極尺寸對熱電偶靜態(tài)及動(dòng)態(tài)特性的影響,設計并制作了不同尺寸規格熱電極的薄膜熱電偶,對熱電極的尺寸效應物理性能開(kāi)展了試驗研究,試驗結果表明熱電偶電極薄膜厚度與動(dòng)態(tài)響應時(shí)間呈正相關(guān),長(cháng)度、寬度、面積等尺寸參數對熱電偶特性無(wú)明顯影響,為薄膜熱電偶電極尺寸設計提供了理論基礎與工程依據。