在晶圓級芯片測試過(guò)程中,晶圓探針臺是測試正確進(jìn)行的關(guān)鍵實(shí)施設備,探針臺的使用與輸出的map圖等數據將直接反應晶圓(wafer)測試情況;目前探針臺(prober)設備存在型號多、指令類(lèi)型繁雜和必須現場(chǎng)操作的實(shí)際,增加了測試人員對測試方案開(kāi)發(fā)以及量產(chǎn)測試監測的難度;為此提出了一種基于NI-VISA與網(wǎng)絡(luò )地址轉換(Network Address Translation NAT)內外網(wǎng)穿透的軟件設計,通過(guò)將NI底層動(dòng)態(tài)鏈接庫嵌入到軟件函數中,并集成為人機交互界面,實(shí)現測站終端與探針臺快速連接控制,并通過(guò)快速反向代理(fast reverse proxy FRP)技術(shù)實(shí)現內外網(wǎng)NAT穿透,實(shí)現遠程控制監控探針臺;該軟件設計在解決芯片測試方案遠程調試困難的同時(shí)大幅縮短了測試方案開(kāi)發(fā)周期;在提高了工作效率的基礎上,減少了不必要的人力成本,有助于晶圓級芯片測試方案開(kāi)發(fā)以及探針臺設備監控的工作。
杜開(kāi)元,袁俊,盧旭坤.基于NI-VISA的晶圓測試探針臺遠程控制軟件的設計與實(shí)現計算機測量與控制[J].,2021,29(1):135-139.
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