摘要:主要介紹一套基于LabVIEW平臺設計的高能質(zhì)子束流密度分布測試系統,服務(wù)于電子器件抗輻射加固試驗,用于加速器的輻射劑量測量。它由法拉第杯探測器,移動(dòng)平臺控制系統和基于LabVIEW的控制與數據獲取軟件三部分組成,具有對法拉第杯位置控制、靜電計讀寫(xiě)、智能化測量、數據實(shí)時(shí)處理等功能。性能測試顯示該質(zhì)子束流測量系統能實(shí)現亞pA級電流的測量,20pA量程時(shí)的測量精度為5%,解決了弱流質(zhì)子束的測量問(wèn)題。該系統具有可靠性高、可擴充性好、抗干擾能力強的特點(diǎn),同時(shí)實(shí)驗結果表明測得的質(zhì)子束流密度分布,能準確評估電子器件輻射環(huán)境與劑量,為半導體器件抗輻射加固設計提供支撐。