基于MEMS的航天器表面新型測溫傳感器設計與實(shí)現

首頁(yè) > 過(guò)刊瀏覽>2018年第26卷第6期 >281-284

基于MEMS的航天器表面新型測溫傳感器設計與實(shí)現
DOI:
                        
                    
CSTR:
                        [cstr]
                    
作者:
                        
                        
                    
作者單位:北京衛星環(huán)境工程研究所,北京衛星環(huán)境工程研究所,北京衛星環(huán)境工程研究所,北京衛星環(huán)境工程研究所
作者簡(jiǎn)介:
通訊作者:
中圖分類(lèi)號:
基金項目:軍委裝備發(fā)展部“十三五”裝備預研領(lǐng)域基金重點(diǎn)項目（編號：6140923020301）

Design and implementation of a new style thin film thermocouple based on MEMS for temperature measurement on spacecraft surface

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摘要:

鑒于微機械電子系統（Micro-Electro-Mechanical-Systems，MEMS）技術(shù)及其在航空航天用傳感器設計中的優(yōu)勢，本文根據航天器表面測溫的需要，設計了一款新型表面瞬態(tài)測溫熱電偶傳感器，重點(diǎn)研究了其線(xiàn)條和熱結點(diǎn)圖形制作工藝及其優(yōu)化過(guò)程。通過(guò)物理試驗驗證，該型薄膜熱電偶比普通熱電偶響應時(shí)間較短，相對誤差較小，滿(mǎn)足返回式航天器表面高溫的瞬態(tài)測溫需求。

Abstract:

Base on the advantages of the technology of MEMS in the manufacture of aerospace sensors. According to the requirements of spacecraft surface temperature measurement, a new style of K-type (NiCr/NiSi) thin film thermocouple is designed. The graphic process design of thin film thermocouple is studied, including thermal junction and thin film lead wires. The test shows that the response time of the thin film thermocouple is shorter and the relative error is smaller compared with the traditional thermocouple.

參考文獻

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引用本文

李振偉,劉澤元,劉暢,朱熙,王晶.基于MEMS的航天器表面新型測溫傳感器設計與實(shí)現計算機測量與控制[J].,2018,26(6):281-284.

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歷史

收稿日期:2018-02-26
最后修改日期:2018-03-12
錄用日期:2018-03-13
在線(xiàn)發(fā)布日期: 2018-07-02
出版日期:

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